Электронно-зондовый микроанализатор, тип электронного микроскопа, используемый для получения химической информации. (Ограничение обычного электронного микроскопа заключается в том, что он не обеспечивает элементный анализ). Электронно-зондовые микроанализаторы разрабатываются с 1947 года для проведения неразрушающего элементного анализа с разрешением, приближающимся к разрешению просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). Это делается путем измерения энергии и интенсивности характерного рентгеновского излучения, испускаемого образцом при воздействии на него сфокусированного электронного пучка. Как и в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ), зонд сканируется таким образом, чтобы на катодно-лучевой трубке можно было построить изображение распределения выбранного элемента.
Рентгеновский микрозондовый анализ оказался настолько ценным, что большинство РЭМов, а также многие ТЭМы теперь оснащены рентгеновскими спектрометрами в качестве дополнительного оборудования. Этот метод нашел широкое применение в минералогии, металлургии, науке о твердых телах, а также в клинических и биологических науках.
