Насос для диффузии паров

Этот насос в основном используется в оборудовании для исследования чистых поверхностей и в радиочастотном напылении. Производительность может достигать 190 000 куб. футов в минуту при рабочем давлении от 10-2 до менее чем 10-9 торр при использовании перегородок с водяным охлаждением и менее чем 10-11 торр при использовании перегородок с охлаждением. Скорость откачки для парового насоса остается постоянной от примерно 10-3 торр до уровня гораздо ниже предельного давления жидкости насоса — то есть, для лучших жидкостей до давления лучше 10-9 торр. Диффузионный насос первоначально откачивается роторным насосом с масляным уплотнением до давления около 0,1 торр или менее. Когда жидкость насоса в котле нагревается, в струйном узле создается давление в несколько торр. Высокоскоростные потоки пара выходят из струйного узла, ударяются и конденсируются на стенках насоса с водяным или воздушным охлаждением и возвращаются в котел. При нормальной работе часть газа, поступающего на входной патрубок, захватывается, сжимается и передается на следующую ступень. Этот процесс повторяется до тех пор, пока газ не будет удален механическим форвакуумным насосом.