Введение
На фоне всех разборов микросхем iPad (спасибо Chipworks!), я не смог удержаться от того, чтобы не разобрать свой бытовой прибор для обработки кремниевых пластин от Hine Design Inc. Это устройство — модель # 04300-071. У тех из вас, кто дома, номер модели может быть немного другим, но если вы видели одну, то видели их все, верно? Компания Hine Design была куплена компанией Asyst Technologies Inc., которая впоследствии была куплена Crossing Automation. Давайте начнем!
Шаг 1 Hine Design Inc. Automated Wafer Handling Unit Teardown
Вот она во всей своей красе! 5 осей вращения!
Вода и воздух подаются через порты в нижней части второго изображения и проходят весь путь до захватывающего белого рычага наверху.
Шаг 2
Начните со снятия верхней крышки белой пластиковой части системы манипуляторов.
Обратите внимание на маленький мотор в нижней части, который вращает вакуумный рычаг. В нем используется чисто резиновая фрикционная передача без зубьев.
Шаг 3
Открутите 6 винтов в нижней части белого рычага, отделив эту часть рычага от металлической части.
Отделите вакуумные трубки от белого рычага и металлической тяги рычага. Поначалу это может показаться сложным, но немного потяните, и все получится.
Шаг 4
Снимая верхнюю металлическую пластину среднего рычага, не забудьте удалить черную электрическую ленту, фиксирующую крышку. Электрическая лента может отсутствовать на всех моделях.
Снимите рычаг, а затем снимите крышку последнего рычага. Таким образом, снято 3 рычага! Хотел бы я иметь три рычага, это значительно упростило бы пайку.
Шаг 5
Вот блок обработки пластин без рук! Должен признать, что сейчас от устройства исходит довольно неприятная вонь. Я не уверен, что это такое, но в этот раз это не я!
Пришло время снять внешние бортики! Давайте посмотрим, что находится внутри этого зверя.
Шаг 6
Открутите винты по бокам устройства.
Ух ты, какое красивое оборудование внутри. Фотографии не могут передать, насколько красива механика внутри, но я уверен, что все остальные увидят это сами, когда разберут свой Automated Wafer Handling Unit.
Шаг 7
Мозги внутри устройства впечатляют не меньше! В нем используется 16-разрядный процессор Intel N80C186EB25 (Digikey).
Также есть моя любимая микросхема LM339 Quad Comarator, M74HC32B1 Quad 2-Input OR Gate (ST Micro), Quad 2-Input NAND Gate (Digikey), HM628128BLP SRAM, HIP4081AIP High Frequency Full Bridge FET Driver (Digikey)
MAX232CPE RS-232 Driver/Receiver (Maxim), MAX691CPE uP Supervisor (Maxim), LMD18200T 3A Motor Controllers (National), MC74HCT373AN 3-State Non-Inverting Latch (Digikey), MC41A Brushless Motor Controller (Datasheet), CS82C55A Programmable Peripheral Interface
У одного из FET, похоже, расплавился пластиковый корпус, обнажив соединение выводов на кремнии. Возможно, именно поэтому мой перестал работать!
Шаг 8
Сняв одну из боковых опорных балок, я обнаружил, почему эта штука такая чертовски тяжелая. Опорная балка представляет собой стальной кусок толщиной 1/4 дюйма.
В ней, похоже, 3 двигателя, приводящие в движение несколько шестеренок и винтовых передач. Есть также несколько датчиков на эффекте Холла и кнопки, используемые для измерения максимального и минимального выдвижения подъемной стрелы.
Этот двигатель (2-е изображение) вращает второй рычаг.
Шаг 9
Двигатели двух рычагов — это щеточные двигатели постоянного тока, и каждый из них оснащен энкодером Dynamics Research Corp. Энкодер с моделью № F21AH4ECB43-2540Z330.
Шаг 10
Снимите нижнюю пластину с датчиками, воздушными, водяными и вакуумными разъемами. Затем снимите 4 ножки, которые полностью снимают нижнюю металлическую пластину. Наконец, снимите нижнее стальное основание. Будьте осторожны на этом шаге, винтовые приводы здесь заедают! Теперь двигатель подъемного рычага должен легко выскользнуть.
Наконец-то устройство взяло кровь! Винты на основании могут быть очень тугими. Будьте осторожны при их откручивании, ваша рука может соскользнуть, а сталь не так уж сильно поддается против моей плоти!
Шаг 11
Снимите привод винтов.
Снимите верхнюю пластину. Винтовой привод поднимает и опускает весь моторный блок внутри устройства, который скользит по двум параллельным стержням, показанным здесь.
На этом этапе просто начните вынимать каждый винт, который вы можете увидеть, удаляя части, которые ослабевают!
Шаг 12
А теперь — любимая финальная фотография всех деталей! Надеюсь, вам понравилось разбирать устройство!
