Высоковольтный электронный микроскоп, тип электронного микроскопа, сконструированного для работы при ускоряющих напряжениях, превышающих 200-300 кВ, обычно используемых в обычном просвечивающем электронном микроскопе. Высоковольтные микроскопы, выпускаемые в настоящее время в промышленных масштабах, рассчитаны на ускоряющее напряжение до 1 500 кВ.
Эти приборы имеют ряд преимуществ перед обычным просвечивающим электронным микроскопом: (1) теоретическая разрешающая способность прибора увеличивается с ростом ускоряющего напряжения; (2) толстые образцы легко проникают под пучок; (3) уменьшается хроматическая аберрация, вызванная потерями энергии и рассеянием в образце; (4) уменьшается нагрев образцов и повреждение органических образцов при облучении. Однако многие металлы и полупроводники подвергаются повышенному повреждению при таких высоких энергиях, поскольку падающие электроны могут выбить атом из правильного положения в кристаллической решетке.
Хотя теоретически выигрыш в разрешении при напряжении 1000 кВ примерно в два с половиной раза больше, чем у приборов с напряжением 100 кВ, на практике такое увеличение не было достигнуто. Высоковольтные приборы используются в основном для увеличения проникающей способности и, как следствие, уменьшения хроматических аберраций, например, при изучении металлов и сплавов. Некоторые биологические системы, такие как бактерии и целые клетки, заключенные в кварцевую камеру, также могут быть исследованы при высоком напряжении. Однако повреждение образцов под воздействием энергичного электронного пучка весьма значительно.
