Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ), тип электронного микроскопа, предназначенный для непосредственного изучения поверхностей твердых объектов, который использует пучок сфокусированных электронов относительно низкой энергии в качестве электронного зонда, который регулярно сканируется по образцу. Источник электронов и электромагнитные линзы, генерирующие и фокусирующие пучок, аналогичны описанным для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). Действие электронного пучка стимулирует эмиссию высокоэнергетических обратно рассеянных электронов и низкоэнергетических вторичных электронов с поверхности образца.
Для исследования в РЭМ не требуется сложной техники подготовки образцов, и в него можно поместить большие и громоздкие образцы. Желательно, чтобы образец был электропроводящим, иначе не удастся получить четкое изображение. Проводимость обычно достигается путем испарения пленки металла, например золота, толщиной 50-100 ангстрем на образец в вакууме (такая толщина не оказывает существенного влияния на разрешение деталей поверхности). Если, однако, РЭМ может работать при напряжении 1-3 киловольта, то можно исследовать даже непроводящие образцы без металлического покрытия.
Сканирующие приборы были объединены с ПЭМ для создания сканирующих просвечивающих электронных микроскопов. Их преимущества заключаются в том, что можно изучать очень толстые срезы без ограничения хроматической аберрации и использовать электронные методы для повышения контрастности и яркости изображения.
