No Image

Изготовление интегральных схем

18 просмотров
04 декабря 2023

Изготовление базовой пластины

Материал подложки, или базовой пластины, на которой строятся микросхемы, — это полупроводник, например кремний или арсенид галлия. Для получения стабильных характеристик полупроводник должен быть очень чистым и представлять собой монокристалл. Базовая техника создания крупных монокристаллов была открыта польским химиком Яном Чохральским в 1916 году и сейчас известна как метод Чохральского. Для создания монокристалла кремния по методу Чохральского кремний электронного класса (очищенный до содержания менее одной части примесей в 100 миллиардах) нагревается до температуры около 1 500 °C (2 700 °F) в тигле из плавленого кварца. К нему примешивается либо электронодонорный элемент, такой как фосфор или мышьяк (для полупроводников p-типа), либо электроноакцепторный элемент, такой как бор (для полупроводников n-типа), в концентрации несколько частей на миллиард. Небольшой «затравочный» кристалл диаметром около 0,5 см (0,2 дюйма) и длиной около 10 см (4 дюйма) прикрепляют к концу стержня и опускают до тех пор, пока он не проникнет в расплавленную поверхность кремния. Затем стержень и тигель вращаются в противоположных направлениях, а стержень медленно вынимается со скоростью несколько миллиметров в секунду. При правильной синхронизации эти процедуры приводят к медленному росту монокристалла.

Через много дней монокристалл может превысить 1 метр (3,3 фута) в длину и 300 мм (11,8 дюйма) в диаметре. Затем большой слиток нарезается, как буханка хлеба, на тонкие пластины, на которых одновременно изготавливается множество микросхем. После изготовления микросхемы разрезаются и разделяются.

Комментировать
18 просмотров
Комментариев нет, будьте первым кто его оставит

Это интересно
No Image Технологии
0 комментариев
No Image Технологии
0 комментариев
No Image Технологии
0 комментариев
No Image Технологии
0 комментариев